服务热线
15067353535
13738285206

客服电话
15067353535
13738285206
企业微信
您的位置:
> 文章详情页

薄膜技术与材料摘录

发布日期:2021-10-20 13:48:17   浏览量 :281
unknown unknown 发布日期:2021-10-20 13:48:17  
281

1,随着气体压力升高,在弧光放电过程中,单位时间内碰撞次数增加,电子与其他重粒子之间发生充分的能量交换,电子温度与气体温度,离子温度逐渐趋于相等,等离子体由非平衡状态过渡到热平衡状态。


2,等离子体相对与处于浮动电位的物体来说,一半处于正电位。


3,弧光放电级间电压很低,电极上的电流密度很大,阴极附近的高密度电流,大部分由阴极表面的电子携带,而不是由电离形成的正离子携带。


4,真空电弧的电流密度很大,电弧本身的电流在周围感生径向磁场,产生洛伦兹力,在电磁力的作用下,电弧向轴线压缩,产生磁压缩效应


5,冷阴极弧光放电的电子发射机制i主要是场致发射。


6,“起弧”定义:在刻蚀和涂层阶段,由涂层电源提供等离子体,在

等离子体中包含大量的正离子和电子,如果此时在基体和腔体之间加上

负向偏压,则一部分正离子会被吸附到基体上,同时电子会被吸引到腔

体,形成偏压电流。正常情况下,偏压电流均匀分布到基体和腔体之间。

但是特殊情况下,偏压电流突然上升,并且大部分电流都从工件上某个

特定位置流过,这种情况我们称之为“起弧”。起弧现象会引起工件灼

伤,严重甚至报废。

“起弧”原因:关于起弧的原因有很多,在工作中我们发现除了设

备不正常导致偏压电流突然上升外,引起起弧的原因主要有两个。在刻

蚀阶段主要是由于前处理(清洗和喷砂)不充分,导致工件过脏,这些杂

质在等离子体中会被二次电离,从而释放出过多电子,导致偏压电流突

然上升。在涂层阶段,基本上是由于工件在大盘(即装载工件的架子,和

偏压电源阴极直接相连)上未进行正确装载,导致接触电阻不断变化。

因为偏压电压不变,所以电压会集中到电阻最大的地方,导致这个区域

附近的工艺气体发生电离,产生“起弧”。

电子
电流
工件
等离子体
联系人:杨经理 联系手机:15067353535
联系人:魏女士 联系手机:13738285206
电子邮箱:yogankin@aliyun.com
地址:浙江省嘉兴市南湖区嘉兴总部商务花园77号楼7F室-B
免责声明:本站部分资讯、图片来源于网络及网友投稿,如有侵权请及时联系客服,我们将尽快处理。
Copyright © 2021 版权所有 嘉兴元浩机电设备有限公司
快捷链接
电商平台
管理网站 举报反馈 网站统计